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实验室级真空结晶装备
产品概述:

通过快速抽真空加速溶剂挥发,,,,,,,实现涂层的细密结晶与辅助成膜;;;;装备??? ???榛杓,,,,,,,可凭证工艺需求,,,,,,,无邪设置上抽式、下抽式或内部加热式等多种计划 。。。

焦点参数:

适配基材尺寸:100×100mm~400×400mm(含硅片)
腔体尺寸:240×240×80mm ~ 450×450×120mm
真空速率:标配 10s 可达 10Pa;;;;可选 30s 可达 1Pa、5s 可达 10Pa、3s 可达150Pa 等

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